مشخصات اتاق خلاء نیمه هادی پنج محوره CNC

قابلیت های فرز مونوبلوک برای اتاقک های خلاء نیمه هادی

از بین بردن جوش های ساختاری برای دستیابی به مهر و موم های هلیوم{0} محکم و یکپارچگی مکانیکی برتر در محفظه های فرآیند.

Xiamen Dazao Machinery تولید مونوبلاک می کندمحفظه های خلاء نیمه هادی ماشینکاری شده 5 محوره CNCطراحی شده برای سیستم های خلاء بالا (HV) و فوق{0}}خلاء بالا (UHV). با استفاده از تراشکاری چند محوره و مراکز فرز CNC 5 محوره، شمش های جامد فولاد ضد زنگ 304، 316L و Al6061-T6 به محفظه های خلاء دقیق بدون جوش ساختاری تبدیل می شوند.

قابلیت‌های تولید ما از محفظه‌های رسوب{0} PVD شکل، محفظه‌های اچ پلاسما، ماژول‌های قفل بار ویفر و مخازن واکنش کروی UHV پشتیبانی می‌کنند. با حذف تخلخل داخلی، حفره‌های مواد، و{2}}عیب‌های جوش منطقه تحت تأثیر حرارت،محفظه خلاء نیمه هادی ماشینکاری CNC 5 محوراین فرآیند مرزهای آب بندی پایدار، کانال های خنک کننده داخلی مداوم، و اعوجاج{0}} وجه های فلنج آزاد را برای سازندگان جهانی ارائه می دهد.

تجزیه و تحلیل شکست میدانی و اقدامات اصلاحی مهندسی

بررسی‌های واقعی-مهندسی ریشه‌ای از تاسیسات میدانی تجهیزات نیمه‌رسانا.

1: میکرو{1}}تصحیح نشتی فلنج محفظه رسوب PVD

· علت اصلی:یک مشتری تجهیزات نازک{0}} اروپایی در حین آزمایش نشت هلیوم روی محفظه‌های PVD فولاد ضد زنگ جعبه- که توسط فروشنده قدیمی ماشین‌کاری شده بود، 30 درصد از کار افتاد. تجزیه و تحلیل شکست، علائم تغذیه میکروسکوپی و انحراف صافی فلنج بیش از 0.05 میلی‌متر را در سرتاسر سطح آب‌بندی نشان داد.

· اقدام مهندسی:ما آسیاب آینه‌ای را با استفاده از هندسه تخصصی برش چهره-به‌دنبال آن کاسه دستی دقیق معرفی کردیم. مسطح بودن سطح کمتر یا مساوی 0.02 میلی متر بر متر و زبری به 0.4 میکرومتر Ra کاهش یافت. هرقطعات فولادی ضد زنگ ماشینکاری شده دقیقاجرا در حال حاضر تحت آزمایش 100٪ طیف سنج جرمی هلیوم قبل از ارسال قرار می گیرد و نرخ پذیرش مونتاژ را به 100٪ افزایش می دهد.

2: کاهش خروج گاز در مخازن واکنش کروی UHV

· علت اصلی:یک موسسه تحقیقاتی فشار پایه را در 10^{3}}7 Pa داخل یک محفظه کروی uhv با فلنج‌های cf ساخته شده از استاندارد SS304 گزارش کرد. نرخ بالای گازهای خروجی ناشی از آلودگی سطح داخلی و رطوبت محبوس شده، از پایین آمدن پمپ به سطح مورد نیاز 10^-9 Pa جلوگیری کرد.

· اقدام مهندسی:ما مشخصات مواد را به SS316L{0}کربن کم تغییر دادیم، یک چرخه بازپخت خلاء 900 درجه را ادغام کردیم و پولیش الکتریکی داخلی را برای زبری سطح کمتر به Ra کمتر یا مساوی 0.2 میکرومتر اجرا کردیم. پس از شستشوی اولتراسونیک اتاق تمیز و پخت خلاء، خلاء نهایی به مشخصات داخلی 10^-9 Pa رسید.

3: چرخش فلنج تحت فشار محفظه قفل بار

· علت اصلی:یک سازنده تجهیزات ویفر پس از شش ماه کارکرد، افت پیشرونده خلاء را در طراحی محفظه قفل بار نیمه هادی تشخیص داد. دریچه سریع-به-چرخه فشار خلاء، تنش باقیمانده ماشینکاری را آزاد می‌کند و فلنج اصلی درب آب‌بندی را به میزان 0.03 میلی‌متر تاب می‌دهد.

· اقدام مهندسی:ما یک-فرایند کاهش تنش دو مرحله‌ای را راه‌اندازی کردیم: فرز خشن → بازپخت حرارتی → نیمه-پایان → تثبیت حرارتی ثانویه → فرزکاری پایانی 5 محوری با جبران‌سازی ابزار{4}}مسیری میکرو-. درهای قفل بار پس از اصلاح پس از 10000 چرخه فشار تاب کمتر یا مساوی 0.01 میلی متر نشان دادند.

تمایزهای فنی برای ساخت فوق العاده-خلاء بالا

فرآیندهای استاندارد متالورژی و آزمایشی که محفظه‌های نیمه هادی- را از ماشین‌فروشی‌های تجاری جدا می‌کند.

1. آب بندی خلاء درجه بندی شده و 100٪ نشت هلیوم اعتبار سنجی:

· استاندارد خلاء بالا (HV):نرخ نشت هلیوم کمتر یا مساوی 1×10^-10 Pa·m³/s. بهینه شده برای سیستم های PVD، قفل های بار و ماژول های انتقال.

· استاندارد فوق-خلاء بالا (UHV):نرخ نشت هلیوم کمتر یا مساوی 1×10^-12 Pa·m³/s. فرموله شده برای سیستم های اچ پلاسما و تجزیه و تحلیل سطح.

2. پروتکل کنترل خروج گاز مواد UHV:

· قابلیت ردیابی مقدار زیادی مواد با انتخاب آلیاژ فشار بخار کم (SS316L، Al6061-T6).

· پردازش گاززدایی حرارتی با خلاء بالا، هیدروژن جذب شده را از شبکه‌های فلزی داخلی حذف می‌کند.

· الکترو پولیش تخلخل میکرو{0}}و سطح جذب سطح را کاهش می دهد.

3. تثبیت تنش بار چرخه ای:

· بازپخت حرارتی دو مرحله‌ای، تنش‌های باقیمانده ماشین‌کاری را حذف می‌کند.

· جبران مسیر ابزار از انحراف ساختاری تحت بارهای فشار اتمسفر جلوگیری می کند.

مقایسه عملکرد: فرز 5 محوره مونوبلوک در مقابل مجموعه های جوش داده شده

ارزیابی کمی یکپارچگی خلاء، دقت و هزینه‌های عملیاتی بلندمدت-.

برای برنامه‌هایی که نیاز به مدیریت حرارتی بهینه یا محافظت در برابر خوردگی دارند، قابلیت‌های ماشین‌کاری پست ما دارای گواهی استآندایزینگ و الکترو پولیش کت سختگزینه های مطابق با استانداردهای ابزارساز

جدول مشخصات فنی

تلورانس های دقیق، پرداخت های سطحی و استانداردهای بازرسی برای اتاقک های خلاء.

استانداردهای تضمین کیفیت و بازرسی

پروتکل‌های راستی‌آزمایی که ادغام مستقیم در خطوط نیمه‌رسانا را تضمین می‌کنند.

عملیات تولیدی ما تحت یک سیستم مدیریت کیفیت گواهی ISO 9001:2015 اجرا می شود. پروتکل های بازرسی هر مرحله از ساخت اتاقک را پوشش می دهد:

· بازرسی مواد:تعداد زیادی مواد ورودی از طریق طیف‌سنجی انتشار نوری (OES) تأیید شیمیایی می‌شوند. بررسی های اولتراسونیک تشکیل فضای خالی داخلی در اکستروژن های ضخیم را تأیید می کند.

· بازرسی مقاله اول (FAI):گزارش‌های ابعاد FAI با استفاده از تجهیزات CMM Zeiss قبل از انتشار دوره‌های کامل تولید دسته‌ای تولید می‌شوند.

· در{0}}بررسی دقیق فرآیند:ابعاد بحرانی آب بندی، هندسه شیار حلقه O-و پروفیل های لبه چاقوی ConFlat (CF) در طول عملیات فرز تأیید می شوند.

100% تست نشت هلیوم:هر محفظه خلاء بالا به شکل جعبه با استفاده از آشکارسازهای نشت طیف‌سنج جرمی هلیوم فایفر که در حالت خلاء کار می‌کنند، تحت بررسی نشت قرار می‌گیرند.

· بسته بندی اتاق تمیز:قطعات تحت تمیز کردن اولتراسونیک با آب دیونیزه، گاز زدایی با خلاء، کیسه های پلی اتیلن دوبل در اتاق تمیز و جعبه های محافظ قرار می گیرند.

ماتریس انتخاب مواد و هندسه

تطبیق خواص مواد و اشکال ساختاری برای پردازش محیط های گاز و محدوده خلاء.

· فولاد ضد زنگ 304 / 316L:Selected for operating bakeout temperatures >200 درجه، شیمی فرآیند واکنشی، و نیاز به خلاء نهایی کمتر از 10^-7 Pa. SS316L برای فرآیندهای اچ کردن پلاسمای کلر و فلوئور مشخص شده است.

· آلومینیوم 6061-T6:در مواردی که اتلاف حرارتی، کاهش وزن برای جابجایی‌های ویفر روباتیک و چرخه‌های پایین پمپ سریع- مورد نیاز است، استفاده می‌شود. غیرفعال سازی سطح اکسید آلومینیوم یک مانع موثر در خروج گاز ایجاد می کند.

· جعبه / محفظه های مستطیلی:حداکثر حجم بارگیری بستر داخلی را ارائه می دهد. برای ساخت محفظه خلاء سیستم رسوب پی وی دی و ماژول های انتقال خودکار توصیه می شود.

· محفظه های کروی / استوانه ای:تنش های فشار سازه را به طور یکنواخت تحت بارهای دیفرانسیل کامل جوی توزیع می کند. ایده آل برای محفظه uhv کروی با فلنج های cf که در زمینه های علمی و تحلیل سطحی کار می کنند.

صنایع کاربردی هدف

خدمات OEM های نیمه هادی جهانی، سازندگان تجهیزات پوشش، و آزمایشگاه های تحقیقات علمی.

پردازش ویفر نیمه هادی

تولید تجهیزات نیمه هادی محفظه اچ پلاسما، محفظه های CVD و ماژول های پرتو یونی.

رسوب لایه نازک PVD{0}

بدنه های محفظه یکپارچه با فلنج های هدف یکپارچه و خنک کننده داخلی برای سیستم های کندوپاش.

آزمایشگاه های تحقیقاتی UHV

محفظه‌های سفارشی UHV که برای منابع نور سنکروترون، فیزیک سطح و سیستم‌های شتاب ذرات ساخته شده‌اند.

تعمیر و نگهداری ابزار و نوسازی

ماشینکاری مجدد و جایگزینی دقیق{1}اجزای اتاق خلاء CNC دقیقبرای خطوط فاب ویفر قدیمی.

قیمت محفظه خلاء نیمه هادی را دریافت کنید

سوالات متداول

 

 

01. چگونه بین نشت خلاء واقعی و خروج گاز از مواد در طول آزمایش تمایز قائل می شوید؟

تشخیص نشت مجازی از نشت واقعی نیاز به آزمایش افزایش فشار و تجزیه و تحلیل گاز باقیمانده (RGA) دارد. خروج گاز (عمدتاً بخار آب) باعث می‌شود که منحنی‌های پمپ-در فشارهای متوسط ​​صاف شوند، اما فشار به مرور زمان در هنگام جداسازی کاهش می‌یابد. یک نشت جوی واقعی یک افزایش مداوم و خطی فشار را نشان می دهد. ما گازهای خروجی را با استفاده از بازپخت خلاء و پولیش الکتریکی حل می کنیم و وضعیت نشت صفر واقعی را از طریق طیف سنجی جرمی هلیوم تأیید می کنیم.

02. چرا آلومینیوم 6061-T6 را به جای فولاد ضد زنگ برای اتاقک های خلاء نیمه هادی انتخاب کنید؟

همانطور که در بحث های مهندسی مشخص شد، آلومینیوم 3× چگالی کمتر، رسانایی حرارتی عالی و بازیابی سریع تر پخت را نسبت به فولاد ضد زنگ ارائه می دهد. آلومینیوم به طور طبیعی یک مانع اکسید آلومینیوم سطحی را تشکیل می دهد که نفوذ هیدروژن بسیار کم را نشان می دهد و در رژیم های خلاء بالا باعث کاهش گازهای خروجی می شود و در عین حال وزن ابزار و هزینه های ماشینکاری را کاهش می دهد.

03. چگونه از آسیب و سوراخ شدن لبه‌های چاقوی ConFlat (CF) در حین ماشین‌کاری 5 محوره جلوگیری می‌کنید؟

لبه‌های آب‌بندی چاقوی CF-به پروفیل‌های دقیق ۹۰ درجه با علامت‌های تیز صفر نیاز دارند تا به طور تمیز وارد واشرهای مسی آزاد-اکسیژن شوند. ما از ابزار اختصاصی برش پروفایل سفارشی، فیدهای تکمیلی فوق العاده-و پاس های فرز آینه استفاده می کنیم. هر لبه چاقو تحت بازرسی 100٪ بزرگنمایی نوری قرار می گیرد تا عدم وجود خرد-یا واژگونی لبه را تأیید کند.

04. چرا یک محفظه خلاء می تواند بازرسی استاتیک CMM را پشت سر بگذارد اما در آزمایش نشت هلیوم شکست بخورد؟

ماشین‌های اندازه‌گیری مختصات استاتیک (CMM) ماکرو-هندسه را اندازه‌گیری می‌کنند، اما نمی‌توانند تخلخل میکرو، تخلخل-پیوستگی علامت‌گذاری را در سراسر وجه‌های آب‌بندی، یا زیر-قطعات سطح میکرونی را تشخیص دهند. اتم‌های هلیوم به شیارهای ریز- نفوذ می‌کنند که از کنار پروب‌های لمسی CMM می‌لغزند. ما آسیاب آینه ای را با آزمایش طیف سنج جرمی هلیوم 100% تحت تخلیه کامل خلاء ترکیب می کنیم.

05. چه چیزی از تاب برداشتن فلنج های محفظه قفل بار در طول چرخه فشار مکرر جلوگیری می کند؟

چرخه فشاری دریچه-به-خلاء، خستگی مکانیکی چرخه‌ای ایجاد می‌کند و تنش‌های پسماند باقی مانده از آسیاب سنگین تهاجمی را باز می‌کند. ما این خطر را با اجرای بازپخت چند مرحله‌ای تنش‌زدایی بین فرزهای ناهموار، نیمه{4}}و پاس‌های تکمیلی دقیق 5 محور نهایی حذف می‌کنیم و پایداری هندسی طولانی‌مدت را تحت بارهای دیفرانسیل جوی تضمین می‌کنیم.

06. چگونه زبری سطح داخلی (Ra) بر فشار پایه خلاء تأثیر می گذارد؟

سطوح ناهموار حاوی قله‌ها و دره‌های میکروسکوپی هستند که رطوبت اتمسفر را به دام می‌اندازند و گازها را پردازش می‌کنند و به طور چشمگیری سطح سطح خروجی گاز را افزایش می‌دهند. الکترو پولیش کردن دیوارهای محفظه داخلی از Ra 0.8 میکرومتر تا Ra 0.2 میکرومتر، سطح موثر میکرو-سطح را تا 80 درصد کاهش می‌دهد، سرعت پمپ محفظه{5}}برای رسیدن به فشارهای UHV نهایی را افزایش می‌دهد.

برای طراحی اتاق نیمه هادی خود یک ارزیابی DFM درخواست کنید

نقشه های مهندسی دوبعدی و فایل های CAD سه بعدی (STEP، IGES، X_T) خود را برای ارزیابی مهندسی ارسال کنید.

تیم فنی ما بازخورد دقیق طراحی برای قابلیت ساخت (DFM) و نقل قول های تجاری رسمی را در عرض 24 ساعت ارائه می دهد.

ایمیل فنی مستقیم: Erica@dazaocn.com

تماس با ما

تگ های محبوب: محفظه خلاء نیمه هادی ماشینکاری 5 محوره، ساخت محفظه خلاء فوق العاده بالا، طراحی محفظه قفل بار نیمه هادی، محفظه خلاء بالا جعبه شکل، محفظه uhv کروی با فلنج های cf